快速掃描探針顯微鏡（ScanningProbeMicroscope，SPM）是一種高分辨率的顯微鏡，能夠實現對樣品表面的原子級成像和表征。采用探針在樣品表面掃描的方式，通過測量探針與樣品之間的相互作用力來獲取表面拓撲和性質信息。
1.原子力顯微鏡（AFM）：通過探(tan)測(ce)探(tan)針與樣品表(biao)面之間的范德(de)華力、靜電力、化(hua)學鍵力等相互(hu)作用力，實現對樣品表(biao)面形貌和(he)力學性質的高分辨成(cheng)像。
2.掃(sao)描隧道(dao)顯微鏡（STM）：利用量子隧道(dao)效應，通過測量探針(zhen)與樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)之間(jian)的電子隧道(dao)電流來實現(xian)對樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)原子級拓撲和電子性質的成像。
應(ying)用領域(yu)：
1.納(na)米(mi)材(cai)料研(yan)究：用于(yu)表征納(na)米(mi)材(cai)料的結構、形(xing)貌、力學性質等，為納(na)米(mi)材(cai)料的設(she)計和(he)制備提供重要(yao)信息。
2.生(sheng)物(wu)醫學：用于觀察生(sheng)物(wu)分子、細胞和(he)組織的微觀結構(gou)，研究生(sheng)物(wu)分子的相互作用和(he)生(sheng)物(wu)表面的性質。
3.表面科學：用于研究表面吸附、腐蝕、生(sheng)長等(deng)過程(cheng)，揭示表面結(jie)構和性質對材料性能的影響。
4.納(na)米電(dian)(dian)(dian)子學：用于研究納(na)米器(qi)(qi)件的電(dian)(dian)(dian)子輸運性質，開發(fa)新型(xing)納(na)米電(dian)(dian)(dian)子器(qi)(qi)件。
快速掃描(miao)探針顯微(wei)(wei)鏡(jing)相比傳(chuan)統(tong)顯微(wei)(wei)鏡(jing)具有以(yi)下優(you)勢：
1.高分辨率：能夠實現原(yuan)子(zi)級甚(shen)至亞原(yuan)子(zi)級的成(cheng)像，揭(jie)示樣品表面的微(wei)觀結(jie)構。
2.非(fei)破壞性：不需要對(dui)樣品(pin)(pin)進行(xing)特殊(shu)處理，可以(yi)在常(chang)溫(wen)、常(chang)壓下進行(xing)表(biao)征，不會破壞樣品(pin)(pin)。
3.多功能性：可(ke)實現(xian)表(biao)(biao)面(mian)形(xing)貌、力學性質、電(dian)子(zi)性質等(deng)多方(fang)面(mian)的(de)(de)表(biao)(biao)征，適用(yong)于不同(tong)類型的(de)(de)樣品。
4.操作(zuo)簡便：相對于(yu)傳統(tong)顯微鏡，操作(zuo)相對簡單，易(yi)于(yu)使用。
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